Názov projektu: Širokopásmový MEMS detektor terahertzového žiarenia
Doba riešenia: 2015 - 2018
Zodpovedný riešiteľ: doc. Ing. Vladimír Kutiš, PhD.
Anotácia projektu
Projekt je zameraný na výskum a vývoj nových typov širokopásmových detektorov pre terahertzovú (THz) oblasť frekvencií. Nový typ detektora je navrhnutý v koncepte mikro-elektro-mechanického systému a využíva bolometrický princíp snímania. Konštrukčný návrh detektora pozostáva z mikrobolometrického snímacieho prvku viazaného na širokopásmovú anténu. Tepelná konverzia dopadajúceho THz žiarenia je prebieha na tenkej polyimidovej membráne, ktorá umožní dosiahnuť nielen vysokú tepelnú konverznú účinnosť (zvýšenie citlivosti) ale zároveň umožní tiež realizovať návrhy detektorov do vysokých frekvencií s vyrovnanou amplitúdovou charakteristikou. Navrhnutý nový koncept MEMS detektorov bude optimalizovaný sofistikovaným procesom modelovania a simulácie v priamej vzájomnej iterácii s experimentálnou funkčnou a detekčnou analýzou. Finálnym zavŕšením riešenia projektu bude tiež vypracovaná metodológia merania, charakterizácie, širokopásmovej THz detekcie a simulácie MEMS detekčného prvku aplikovateľná nielen vo vede ale aj vedeckej výchove.